一、项目名称：ABM光刻机维修升级
二、项目编号：2023-YKZNKX-F922470
三、项目概况：
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技术服务要求 |
项目名称 |
规格参数 |
计量单位 |
数量 |
备注 |
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ABM光刻机维修升级 |
（1）多轴向位移精密控制机构，实现微米级位移控制 机构载物台具有多个分布式的螺纹孔作为安装接口。吸盘衬底厚度：1``;2``;3``;4``;5``;6``;8``圆片； X轴移动与Z轴移动独立控制。X轴行程：20mm ,直线运动精度优于3um （水平和垂直），定位精度优于3um ,重复定位精度：优于 0.5um,增量0.5um；全行程直线度:＜ ±0.25um ;Z轴行程： 0.25``英寸（6.35mm），可控步距2.5um ,直线运动精度：优于1Sum , 定位精度：优于1um ,差分测温仪转台：±3°旋转角度，0.0001度的角增量。 （2）CCD校准控制升级具有实时反馈调节功能 微型激光稳定元件（2个）；大小:＜3cm*3cm*lcm，精度：＞0.2pm ;红外真空图像具备运动中改变目标位置和运动参数；具备正逆解运动解耦和坐标变换功能；用户定义自动执行程序（软件编程中断，连续可调成像90X到600X），对准精度±0.5um；采集速率不低于20kHz的实时数据采集。Ethercat通信网络中连接两个对焦微驱动器；同时具备模拟量和脉冲量控制。 |
套 |
1 |
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2 |
商务服务要求 |
付款方式 |
供货、安装周期 |
质保期 |
交货 地点 |
保密要求 |
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本项目不预付货款，货物运达指定地点验收合格后，采购单位在30天内向乙方支付100%货款。 |
合同生效后，中标方在7日内完成安装及调试。 |
1年 |
湖南省 长沙市 |
甲、乙双方在采购和履行合同过程中所获悉的对方属于保密的内容，甲乙双方均有保密义务。 |
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说明 |
1.报价方须对所报价包内所有产品和数量进行报价，否则视为无效报价。 2.运杂费：全部由供应商承担，并提供免费上门安装调试及支持服务。 3.比价方法：在完全满足采购人资格、技术服务及商务服务要求的基础上，价格最低者为成交供应商 |
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四、意向供应商资格条件：
（一）具有企（事）业法人资格（有行业特殊的银行、保险、电力、电信等法人分支机构，会计师、律师等非法人组织，行业协会等社会团体法人除外）；
（二）国有企业；事业单位；军队单位；成立三年以上的非外资（含港澳台）独资或控股企业，国内市场无类似或可替代产品的企业除外。
（三）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）参加军队采购活动前3年内，在经营活动中没有受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、200万元以上罚款等重大违法记录；
（六）未被列入政府采购失信名单、军队采购暂停名单，未在军队采购失信名单禁入处罚期内，未被政府主管部门列入违法失信名单、重大税收违法案件当事人。
（七）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。生产型企业的生产场经营地址或者注册登记地址为同一地址的，非国有销售型企业的股东和管理人员（法定代表人、董事、监事）之间存在近亲属、相互占股等关联的，也不得同时参加同一包的采购活动。近亲属指夫妻、直系血亲、三代以内旁系血亲或近姻亲关系。
（八）法律、行政法规规定的其他条件。
（九）本项目不接受联合体投标。
（十）※具备生产许可证、特许经营许可证、质量管理体系认证、环境管理体系认证、职业健康管理体系认证、3C认证等相关行业资质。（根据项目情况自定，没有的请删除）
公告时间、报名时间、报名方式
（一）报名时间：2023年11月29日至2023年12月1日（上午09:00—12:00，下午14:30—17:00）（北京时间、节假日除外）。
（二）截止时间：2023年12月2日 17：30 前送达至我单位指定地点（可邮寄），在规定时间内收件成功即视为供应商报名成功。未密封或者在规定时间内送达我单位的一律拒绝收取。
（三）提交材料：凡有意参加报价者没在公告的附件下载比价相关文件电子档。提交材料至少包含以下资料，缺少一项其比价文件将做无效处理；所有资料需加盖供应商公章、完善相关签名并密封。未盖公章视为报名无效。
1.报价单
2.营业执照；
3.组织机构代码证；
4.税务登记证；
5.法定代表人授权书（含法定代表人和被授权人身份证复印件）；
6. 承诺函
说明：投标人具有实行了“三证合一”登记制度改革的新证，视同为持有工商营业执照、组织机构代码证和税务登记证，符合基本资格条件的相关条款，投标人具有实行了“五证合一”登记制度改革的新证，视同为持有工商营业执照、组织机构代码证、税务登记证和社会保险登记证，符合基本资格条件的相关条款。
六、本采购项目相关信息在国防科技大学民网上发布。
七、比价时间
2023年12 月4日 9时30分（供应商无需到达比价现场）
八、联系方式
联 系 人：卢老师
电 话：13874807436
地 址：长沙市开福区德雅路109号
邮政编码：410073
